束光刻工厂来的。
最终由光电技术研究所的罗亚杰,率先上台进行相关的报告。
尽管罗亚杰给大家分享了一个好消息,说到他们研究所关于22纳米超分辨光刻装备,最近在技术上迎来了新的突破之后,顿时引起台下不少人热烈鼓掌。
但同时大家也都知道,就算攻克了22纳米光刻机制造技术,距离阿麦斯的7纳米极紫外光刻机,仍有着非常大的差距。
关键这中间的差距,实在让人看不到追赶甚至超越的希望。
之后另外两个进行光刻机研究的研究所,也上台进行了研究报告。
至于结果则和光电技术研究所方面差不多。
就算继续研究下去,除非出现奇迹,否则几年内想追赶上海外完全不可能。
时间一分一秒流逝。
院长白新周脸色也变得难看起来。
如果说刚对外宣布,要自主研发国产极紫外光刻机的时候,还非常意气风发斗志昂扬,那么此刻经过半个月的沉淀认知后,才真正感觉到那种巨大技术差距下面临的无力感。
不过很快白新周突然想到了什么,趁着其他人下去顿时把目光锁定了徐源。
下秒直接开门见山道:
“徐院士。”
“我记得你上次提到稳态微聚束,其光源能够用于EUV光刻。”
“现在有具体方案了吗?”
徐源听到自己的名字,这时候自然不会卖关子,当即便开口回答起来。
“是的院长。”
“这段时间我和验证了稳态微聚束的赵翔教授,顺利完成了关于光刻工厂的相关构想,我向院里申请尽快开始此项目。”
说完便和赵翔一起,两人配合着对已经完成的方案进行讲解。
在场所有人中,有人了解过稳态微聚束,有的人则是首次听到。
看见能让徐源这位两院院士如此重视,甚至还要求项目尽快立项实施,整个人的好奇心不由得被成功钩了出来。
纷纷集中注意力朝徐源望去。
而随着稳态微聚束光刻工厂的设想图,在大厅内屏幕上完全展示出来时,大家目光瞬间便被吸引住。
“传统的极紫外光刻机技术,大多数专利都掌握在阿麦斯手中,我们想要在这种情况下研究出,几乎是一件很难短期做到的事。”
“所以我在想有没有另辟蹊径的办法,能实现对高端芯片的制造。”
本章未完,请点击下一页继续阅读!