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第659章 光刻机里的DPP方案

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南大光电启动ArF光刻胶研发项目,但尚未量产;沪上新阳的KrF光刻胶处于验证阶段;晶瑞电材的g/i线光刻胶已用于中低端芯片。

除此之外还有特殊气体、抛光材料、溅射靶材和先进封装材料。

陈平江之前培养出华特气体、安集科技、江丰电子和飞凯材料,这些都可以成为替代方案,但还是老问题。

纯度和稳定性不足,验证周期长!

当然了……

好消息也不是没有。

比如江丰电子的靶材市占率全球前五,成为中芯国际、三星核心供应商。

比如安集科技的CMP抛光液打破美日垄断,进入14nm产线。

比如南大光电的ArF光刻胶项目已经逐步量产。

梁老感慨道:“幸好你几年前有远见,先扶持了一批国产企业,否则我们面临的麻烦还要更多,不过我始终是有信心的。”

陈平江含蓄的笑了笑。

他从不担心国产芯片的未来。

即便是按照原本的时间线,到了24年国产成熟制成芯片也会迎来重大突破,出口销售额达到千亿美元。

一切所缺的不过是时间而已。

每个环节进步一点,汇合集合就是巨大的进步。

……

……

两天后,陈平江已经从沪上赶往了祖国的最北端。

在哈工大的校园里,陈平江见到了赵永鹏。

“哈哈,陈董,虽是初次见面,却已经神交已久啊。”

赵永鹏亲热的同陈平江握手。

陈平江笑眯眯道:“赵教授不必客气叫我小陈就好,今天我过来是特意对您的卓越贡献表示感谢的。”

陈平江说不用客气,赵永鹏哪里敢真的叫他小陈,只当是客套话。

“军功章也应当有你的一半,如果不是之前您的资助和多方面协助,我们也不会如此顺利。”赵永鹏招招手,“我们去实验室看看。”

陈平江来到哈工大,之前已经和校方打过招呼,希望低调处理,这才没有引起围观。

这次过来完全是因为赵永鹏团队顺利研发出“放电等离子体极紫外光刻光源”的缘故。

这个项目,陈平江已经跟了好几年,前后资助不下2000万,并且表示不要任何知识产权,如今终于到了开花结果的时候。

宽敞明亮的实验室内。

陈平江身着无尘


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