这一合作项目的研发团队,就是王斌耀亲自率领的材料研发团队。
趁着脑子里各种灵感爆炸的时候,王斌耀带着研发团队连续搞出来了好几种不同的新材料组合,然后进行逐一的试验。
这种材料的研发也不是单纯依靠人工试验,实际上王斌耀技术团队搞的是计算材料,是用算法构建基本的模型,然后用超算去跑,再选出来一些可能有用的技术路线,然后再进入材料的制备试验流程。
所以他们的大部分工作,其实是和算法、模型、超算打交道。
王斌耀趁着状态好,改进了自己设计的材料模型后,通过超算的理论验证后搞出来集中理论上可行的新材料,然后让手底下的一群科研骨干们再进行试验。
结果这一次运气爆棚,王斌耀搞出来的多种潜在的光敏聚合材料里,其中有一种性能还不错,达到了满足EUV光刻机对光刻胶的苛刻需求。
当然,仅仅是这样还不够,实际上他们之前也做出来了一种光敏聚合物材料,适合EUV光刻机使用,但问题是那种材料是一种低温材料,对使用环境要求非常苛刻,得零下好几十度才能用,而且制备成本也高,不具备实际使用价值。
而这一次搞出来的新型光敏聚合物材料,却是在常温常压情况下就能够使用,并且按照理论上来说,制备难度也不大……成本虽然高一些,但是后续通过工艺改良,大规模量产是能够把成本给降低下去的。
这种新型光敏聚合物材料的研发成功,让王斌耀兴奋的很……他感觉自己最近的研发状态好的很。
而且这不是自己的感觉,而是得到了研发成果证明的事实。
既然如此,那么还等什么,各种材料项目安排上,他要大干一场……
于此同时,仙女山控股旗下的华赛电子有限公司,本来还发愁着先进光刻胶材料的研发迟迟没有成功……人家隔壁的海湾科技都部已经开始倒腾EUV光刻机原型机了。
如今EUV光刻机的各种子系统都已经折腾的七七八八了,从光源再到镜片,然后到工作台等各核心系统都弄的差不多了。
不出意外今年年底,他们甚至都能够拿出来第一台实验性原型机……虽然这个原型机不具备实际使用价值,后续还需要继续折腾琢磨好几年,才能够达到量产水平。但是人家好歹是搞的差不多了。
但是EUV光刻机所使用的光刻胶材料,自己这边却是迟迟没有进展,所以华赛电子这边其实也比较着急。
毕
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