全靠这帮大小师傅的经验来完成了。
高振东点了名,易中海就指着机器,一点一点的介绍起来,用语平实,有不少他们钳工车工等工种的行内话,高振东还得问一问是什么意思才能完全理解,颇有一点前世看互联网黑话的感觉。
师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处,大大方方问问题的作风,也是心中认可,对味儿!一个个的都热情解答。
经过一番沟通,高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理,高振东要求的精度,没超出各位大师傅的能力范围,也没玩别的花活儿或者高科技,差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。
减速机构说起来是减速,根子上就是按照一定比例改变运动状态,其实可以用于不同的用途,力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等,都行。
宏动用的齿轮,微动用了丝杠,三轧厂的大师傅们通过精心的设计,让齿轮组、丝杠等等巧妙配合,实现了对工件台的运动的精确定位。
在日后不算精确,这个时候可就很精确了。
对于这个东西,高振东既没有要求运动速度,也没要求定位速度和稳定速度,这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少,目标既明确又纯粹。
那些指标,是自动化生产需要的,但是高振东现在并没有考虑那个,和PCB与焊接不同,IC这个东西整个产业规模暂时还达不到,生产那么快干嘛。
先解决有没有,参与人员经验多了信心足了,再继续改进就是。
高振东前世,我国77年搞的接触式和接近式光刻机,也是手动的。
高振东看着手上的工件台参数表,他这个时候,有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。
那就是惊喜,我本来没想要这么好的,怎么你就拿出这么好的东西出来了?万万没想到啊。
“易师傅,这个移动标准差和移动平均差,你们已经做到1.5μm了?”高振东语含惊喜。
移动标准差决定了光刻线宽,移动平均差会影响套刻精度,这两个指标,是高振东在这一块最看重的,而别的指标都往后稍稍。
易中海和所有的师傅对望一眼,面带自豪。
“是啊,我们搞了一下子,大家合计了一下,觉得以手上的条件,加把劲,其实能搞得更好。于是大家各自想办法,拼了老命的把这个降到了1.5,想来对你们来说,应该是有用的。”话说得朴实简单,但是其中过程的艰辛应该是
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